打表測(cè)量法：首先是將被測(cè)零件以及測(cè)微計(jì)平放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測(cè)量基準(zhǔn)面，然后用測(cè)微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或者沿幾條直線方向進(jìn)行測(cè)量。打表測(cè)量法根據(jù)評(píng)定基準(zhǔn)面分別分為三點(diǎn)法和對(duì)角線法：三點(diǎn)法是將被測(cè)實(shí)際表面上間隔較遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，而實(shí)測(cè)時(shí)先將被測(cè)實(shí)際表面上間隔較遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板同高；對(duì)角線法實(shí)際應(yīng)用時(shí)首先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)根據(jù)對(duì)角線調(diào)整到兩兩等高。

 水平儀測(cè)量法：水平儀在應(yīng)用當(dāng)中是一種測(cè)量小角度的常用量具。而在機(jī)械行業(yè)和儀表制造中,充當(dāng)?shù)慕巧怯糜跍y(cè)量相對(duì)于水平位置的傾斜角、機(jī)床類設(shè)備導(dǎo)軌的平面度和直線度等設(shè)備安裝的水平位置和垂直位置等。按水平儀的不同外觀可分為：框式水平儀和尺式水平儀兩種；根據(jù)水準(zhǔn)器的固定方式又可分為：可調(diào)式水平儀和不可調(diào)式水平儀。在應(yīng)用中常常用于工件表面的直線度和平面度測(cè)量。
優(yōu)點(diǎn)如下：測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。
缺點(diǎn)如下：用此方法測(cè)量時(shí)需要反復(fù)挪動(dòng)儀器位置，記錄各測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)，費(fèi)時(shí)、費(fèi)力，調(diào)整時(shí)間長(zhǎng)，數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。

 激光平面干涉儀測(cè)量法：最典型的用法是平晶干涉法，首先以光學(xué)平晶的工作面來(lái)體現(xiàn)出理想平面，然后直接根據(jù)干涉條紋的彎曲程度來(lái)確定被測(cè)表面的平面度誤差值，所以其主要用于測(cè)量光潔的小平面的測(cè)量，應(yīng)用于千分頭測(cè)量面，量規(guī)的工作面，光學(xué)透鏡。又因其激光干涉儀體積小，重量輕、無(wú)需外接電源的特點(diǎn)通常應(yīng)用于光學(xué)加工企業(yè)及在光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及其他要進(jìn)行光學(xué)表面檢測(cè)的場(chǎng)合。得益于干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步，無(wú)需切換，所以任何人都能簡(jiǎn)單操作，于此同時(shí)也能加長(zhǎng)導(dǎo)軌配合測(cè)量尺寸簡(jiǎn)便的測(cè)量出曲率半徑。  塞尺測(cè)量法  ：塞尺主用于間隙間距的測(cè)量，但對(duì)平面度的測(cè)量只能進(jìn)行粗測(cè)，所以塞尺使用前務(wù)必先清理塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時(shí)可采用一片或數(shù)片以重疊的方式插入間隙，以稍感拖滯為宜。測(cè)量時(shí)動(dòng)作一定要輕，不可硬插。也不允許測(cè)量溫度較高的零件。目前仍是很多工廠采取的方法。由于其精度不高，常規(guī)較薄塞尺為10um，檢測(cè)效率較低，檢測(cè)結(jié)果不夠全面，只能用于檢測(cè)零件邊緣。  液平面法：液平面法是把液平面作為測(cè)量基準(zhǔn)面，液平面是由 “連通罐”內(nèi)的液面所構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測(cè)量。是基于連通器的工作原理，該方法適用于測(cè)量連續(xù)或不連續(xù)大平面的平面度，缺點(diǎn)在于測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)，且對(duì)溫度敏感，僅適用于測(cè)量精度較低的平面。